ICP光谱仪还可以作为原子转化器，如中空阴极灯作为光源,ICP作为原子雾化器的原子荧光光谱仪。此类仪器不使用以 ICP 为中心的单色仪,即安装多个检测设备(每个元件和检测设备),形成多元素分析系统。ICP作为雾化器的主要优点是雾化器具有高温,一些元件可以很好地雾化,扩散问题已经克服。在计算机控制时,灯电源按顺序排列到空心阴极灯的检测单元(2000次/s),在相应的光电倍增管检测时产生荧光,光电转换的电信号在放大后由计算机处理,并报告元件分析结果。但值得一提的是,以ICP为原子的原子荧光光谱仪对耐火元素的测定不敏感。

       ICP光谱仪是一种非物理光学调制光谱仪，使用圆孔进入光。根据分离原理，分量工具分为：棱镜光谱仪、衍射隔栅光谱仪和傅立叶变换光谱仪。多通道光学分析仪（光学多通道分析仪），配备 10 多个光子探测器 （CCDS） 和计算机控制的新型仪器光谱，集采集、处理和存储于一体。感谢不再使用乳胶摄影，逃逸和持有黑色，设计和开发系列和苗条的大小工作，传统频谱技术的根本变化是改善工作条件，提高效率，易于使用，快速检测速度，高灵敏度，快速响应时间，高分辨率，测量结果可以直接从屏幕或打印机，图表仪输出读数，ICP光谱仪是目前广泛用于几乎所有的频谱指标，分析和研究特别适用于检测弱信号和瞬态信号。