ICP光谱仪是一种分光计，将多色的光分解成光谱并记录下来。在可见光和紫外区域，光谱被记录在过去，所以它也被称为光谱图。在红外光谱中，光敏感或热元件点记录的一般使用，是红外光谱仪的名称。现在每个波段都使用光电接收和记录方法，更直接，更敏感，称为“光电记录光谱仪”。为了得到更多的光谱线，分析材料在等离子体火焰中可以被激发，除了光电接收法外，它还配备了一台特殊的计算机来计算材料中每个元素的含量。结果可以在几秒钟内从监视器的屏幕上读取。为了保证ICP光谱仪的安全运行, 电源线路必须有足够大的容量, 否则当ICP光谱仪运行过大时, 线路电压降将影响仪器的寿命。

　    通用ICP光谱仪的接地电阻小于5欧姆, 计算机的接地电阻可防止相互干扰低于 0.25ω 的标准。在使用设备时, 往往要注意电源的变化, 不能长期承受压力或低压工作, 根据数据, 设备在压力下运行, 如果灯管产生大功率发电机的原因过长的蒸发或老化, 管的寿命大大缩短（是正常寿命的五分之～一六分之一）时在低电压下工作时, 电子管长丝温度太低, 电子发射不好, 也容易导致电子排放过早老化材料。另外, 设备运行中的电源电压波动较大, 应注意电源的质量, 这导致高频发电机输出功率不稳定, 对质量有重大影响的测量。